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Semiconductor Strain Metrology : Principles and Applications

Terence K.S Wong

Bentham Science Publishers, 2012

Accessible en ligne

  • Titre:
    Semiconductor Strain Metrology : Principles and Applications
  • Auteur: Terence K.S Wong
  • Éditeur: Bentham Science Publishers
  • Date de publication: 2012
  • Langue: Anglais
  • Identifiant: ISBN 1-60805-359-8 ;ISBN 1-60805-554-X
  • Source: Collège de France (ressources électroniques)
    Dauphine (ressources électroniques)
    Mines ParisTech (ressources électroniques)
    PSL (ressources électroniques)
    ESPCI Paris (ressources électroniques)

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