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Fundamental principles of optical lithography: the science of microfabrication

Chris A. Mack

2007

Accessible en ligne

  • Titre:
    Fundamental principles of optical lithography: the science of microfabrication
  • Auteur: Chris A. Mack
  • Date de publication: 2007
  • Langue: Anglais
  • Identifiant: ISBN 0-470-01893-3 ;ISBN 0-470-72730-6 ;ISBN 9786612348815 ;ISBN 1-282-34881-7 ;ISBN 0-470-72386-6 ;ISBN 0-470-72387-4 ;ISBN 1-119-96507-1
  • Source: PSL (ressources électroniques)
    ESPCI Paris (ressources électroniques)
    Mines ParisTech (ressources électroniques)
    Collège de France (ressources électroniques)
    Dauphine (ressources électroniques)

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