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Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices Advanced Micro and Nanosystems

Henry Baltes ; Osamu Tabata

Weinheim Wiley, 2013

Accessible en ligne

  • Titre:
    Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices Advanced Micro and Nanosystems
  • Auteur: Henry Baltes
  • Autre(s) auteur(s): Osamu Tabata
  • Éditeur: Weinheim Wiley
  • Date de publication: 2013
  • Langue: Anglais
  • Identifiant: ISBN3-527-33501-3;ISBN3-527-67503-5
  • Source: Dauphine (ressources électroniques)
    ESPCI Paris (ressources électroniques)
    PSL (ressources électroniques)
    Collège de France (ressources électroniques)
    Mines ParisTech (ressources électroniques)

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