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Silicon carbide microelectromechanical systems for harsh environments

Mohsen Razavy ; Rebecca Cheung

2006

Accessible en ligne

  • Titre:
    Silicon carbide microelectromechanical systems for harsh environments
  • Auteur: Mohsen Razavy
  • Autre(s) auteur(s): Rebecca Cheung
  • Date de publication: 2006
  • Langue: Anglais
  • Identifiant: ISBN1-86094-624-0;ISBN9786611347567;ISBN1-281-34756-6;ISBN1-86094-909-6
  • Source: Dauphine (ressources électroniques)
    Collège de France (ressources électroniques)
    Mines ParisTech (ressources électroniques)
    ESPCI Paris (ressources électroniques)
    PSL (ressources électroniques)

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