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Image formation in low-voltage scanning electron microscopy

Reimer, Ludwig (1928-)

Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press, 1993

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  • Titre:
    Image formation in low-voltage scanning electron microscopy
  • Auteur: Reimer, Ludwig (1928-)
  • Sujets: Optique électronique;
    Microscopie électronique balayage
  • Description: Mines : Introduction. Electron optics and instrumentation. Electron scattering and diffusion. Backscattered and secondary-electron emission. Specimen charging and damage. Signal formation and image constrast. Electron spectroscopic methods
  • Éditeur: Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press
  • Date de publication: 1993
  • Format: xii, 143 p. : ill. ; 26 cm
  • Langue: Anglais
  • Identifiant: ISBN 0-8194-1206-6
  • Source: Mines ParisTech (catalogue)

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