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Thermal conductivity of Si 2D phononic membranes studied by MD simulations and Raman thermometry

Didenko , S. ; LACATENA , V. ; HARAS , M. ; Robillard , J.F. ; CHAPUIS , P.O. ; Dubois , E. ; Bluet , J.M. ; Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 ( IEMN ) ; Ecole Centrale de Lille-Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis ( UVHC ) -Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; STMicroelectronics [Crolles] ( ST-CROLLES ) ; Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon ( CETHIL ) ; Université Claude Bernard Lyon 1 ( UCBL ) ; Université de Lyon-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon ( INSA Lyon ) ; Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX ( PHENIX ) ; Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -ESPCI ParisTech-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; INL - Spectroscopies et Nanomatériaux ( INL - S&N ) ; Institut des Nanotechnologies de Lyon ( INL ) ; École Centrale de Lyon ( ECL ) ; Université de Lyon-Université de Lyon-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Institut National des Sciences Appliquées de Lyon ( INSA Lyon ) ; Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon ( CPE ) -Université Claude Bernard Lyon 1 ( UCBL ) ; Université de Lyon-École Centrale de Lyon ( ECL ) ; Université de Lyon-Université de Lyon-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Institut National des Sciences Appliquées de Lyon ( INSA Lyon ) ; Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon ( CPE ) -Université Claude Bernard Lyon 1 ( UCBL ) ; Université de Lyon

Eurotherm 108: Nanoscale and Microscale Heat Transfer V

HAL CCSD, 2016

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