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Stabilization of the tilt motion during capillary self-alignment of rectangular chips

Berthier , J. ; Brakke , K.A. ; Mermoz , S. ; Frétigny , Christian ; Di Cioccio , L. ; Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information ( CEA-LETI ) ; Université Grenoble Alpes [Saint Martin d'Hères]-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives ( CEA ) ; Mathematics Department ; Susquehanna University ; Susquehanna University-Susquehanna University ; STMicroelectronics [Crolles] ( ST-CROLLES ) ; Sciences et Ingénierie de la Matière Molle ( SIMM ) ; Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -ESPCI ParisTech-PSL Research University ( PSL ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS )

ISSN: 0924-4247

HAL CCSD;Elsevier, 2015

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