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Fabrication of poly-crystalline Si-based Mie resonators via amorphous Si on SiO2 dewetting

Naffouti , Meher ; David , Thomas ; Benkouider , Abdelmalek ; FAVRE , Luc ; Ronda , Antoine ; Berbezier , Isabelle ; Bidault , Sebastien ; Bonod , Nicolas ; Abbarchi , Marco ; Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence ( IM2NP ) ; Aix Marseille Université ( AMU ) -Université de Toulon ( UTLN ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; Institut Langevin ondes et images ; Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -ESPCI ParisTech-Université Paris Diderot - Paris 7 ( UPD7 ) -Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) ; CLARTE ( CLARTE ) ; Institut FRESNEL ( FRESNEL ) ; Aix Marseille Université ( AMU ) -Ecole Centrale de Marseille ( ECM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Aix Marseille Université ( AMU ) -Ecole Centrale de Marseille ( ECM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS )

ISSN: 2040-3364

HAL CCSD;Royal Society of Chemistry, 2016

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