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Wafer Scale Formation of Monocrystalline Silicon-Based Mie Resonators via Silicon-on-Insulator Dewetting

Abbarchi , Marco ; Naffouti , Meher ; Vial , Benjamin ; Benkouider , Abdelmalek ; Lermusiaux , Laurent ; FAVRE , Luc ; Ronda , Antoine ; Bidault , Sébastien ; Berbezier , Isabelle ; Bonod , Nicolas ; Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence ( IM2NP ) ; Aix Marseille Université ( AMU ) -Université de Toulon ( UTLN ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; CLARTE ( CLARTE ) ; Institut FRESNEL ( FRESNEL ) ; Aix Marseille Université ( AMU ) -Ecole Centrale de Marseille ( ECM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Aix Marseille Université ( AMU ) -Ecole Centrale de Marseille ( ECM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; Institut Langevin ondes et images ; Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -ESPCI ParisTech-Université Paris Diderot - Paris 7 ( UPD7 ) -Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC )

ISSN: 1936-0851

HAL CCSD;American Chemical Society, 2014

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