skip to main content

Multiple wavelengths reflectance microscopy to study the multi-physical behavior of MEMS

Garraud , N. ; Fedala , Y. ; Kanoufi , F. ; Teissier , G. ; Roger , J.P. ; Amiot , Fabien ; Laboratoire ondes et acoustique ( LOA ) ; Université Paris Diderot - Paris 7 ( UPD7 ) -ESPCI ParisTech-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; Laboratoire de Mécanique et Technologie ( LMT ) ; École normale supérieure - Cachan ( ENS Cachan ) -Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; Physicochimie des Electrolytes, Colloïdes et Sciences Analytiques ( PECSA ) ; Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -ESPCI ParisTech-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) ( FEMTO-ST ) ; Université de Franche-Comté ( UFC ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques ( ENSMM ) -Université de Technologie de Belfort-Montbeliard ( UTBM )

ISSN: 0146-9592

HAL CCSD;Optical Society of America, 2011

Accessible en ligne

Recherche dans les bases de données distantes en cours. Merci de patienter.

  • Recherche
  • dansscope:(33PSL-CNSAD),scope:(33PSL-EHESS),scope:(33PSL-PSL_OMEKA),scope:(33PSL-MINES),scope:(33PSL-EFEO),scope:(33PSL-CNSMDP),scope:(33PSL-CHIMIE),scope:(33PSL),scope:("DAU"),scope:(33PSL-CDF),scope:(33PSL-ENS),scope:("33PSL-OBSERV"),scope:("33PSL-ESPCI"),scope:(33PSL-CURIE),scope:(33PSL-ENSBA),scope:("33PSL-ENC"),scope:(33PSL-PSL_STAR),scope:(33PSL-PSL_SFX),scope:("33PSL-EPHE"),scope:(33PSL-ENSAD),primo_central_multiple_fe
  • Afficher ce qui a déjà été récupéré