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Temperature measurement of sub-micrometric ICs by scanning thermal microscopy

Gomès , Séverine ; Chapuis , Pierre-Olivier ; Nepveu , François ; Trannoy , Nathalie ; Volz , Sebastian ; Charlot , Benoît ; Tessier , Gilles ; Dilhaire , Stefan ; Cretin , Bernard ; Vairac , Pascal ; Génome, Population, Interactions ; Université Montpellier 2 - Sciences et Techniques ( UM2 ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; Micro et nanothermique ( MN ) ; ESPCI ParisTech-DGA-ENSMA-Ecole Centrale Paris-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives ( CEA ) -Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -Université de Nantes ( UN ) -Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 ; Laboratoire d'Énergétique Moléculaire et Macroscopique, Combustion ( EM2C ) ; CentraleSupélec-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; Laboratoire d'énergétique et d'optique - Unité de thermique et d'analyse physique ( LEO - UTAP ) ; Université de Reims Champagne-Ardenne ( URCA ) ; Techniques of Informatics and Microelectronics for integrated systems Architecture ( TIMA ) ; Université Joseph Fourier - Grenoble 1 ( UJF ) -Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology ( Grenoble INP ) -Institut National Polytechnique de Grenoble ( INPG ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université Grenoble Alpes ( UGA ) ; Laboratoire Photons Et Matière ( LPEM ) ; Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -ESPCI ParisTech-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) ; Centre de physique moléculaire optique et hertzienne ( CPMOH ) ; Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 ; Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies ( FEMTO-ST ) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard ( UTBM ) -Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques ( ENSMM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Franche-Comté ( UFC )

ISSN: 1521-3331

HAL CCSD;Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2007

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